비씨엔씨가 강세다. SK하이닉스가 올 3분기 HBM 제조용으로 'B4C(보론카바이드)' 포커스링을 도입하기로 했다는 소식이 전해지면서다. 비씨엔씨의 포커스링(Focus Ring)인 제품 'CD9'는 신소재 보론카바이드(B4C)을 활용한 제품이다.
13일 오전 11시 38분 현재 비씨엔씨는 전 거래일 대비 25.20% 오른 1만5450원에 거래 중이다.
이날 지디넷코리아에 따르면, 최근 SK하이닉스가 HBM용 부품 중 하나인 포커스링에 기존 대비 성능이 뛰어난 신소재를 적용한 것으로 알려졌다. SK하이닉스는 국내 협력사 비씨엔씨의 B4C 포커스링을 도입해 퀄(품질) 테스트를 진행하고, 지난달 PO(구매주문서)를 냈다고 보도했다.
포커스링은 HBM에 홀을 뚫는 과정에서 쓰이는 부품 중 하나다. 홀이 정밀하게 형성될 수 있도록 웨이퍼를 고정시켜주고, 웨이퍼 가장자리에 발생할 수 있는 오염을 방지하는 역할을 맡고 있다.
포커스링 소재로는 쿼츠 및 실리콘 계열이 활용돼 왔다. 특히 SK하이닉스의 경우, 기존 소재 대비 고온·플라즈마 내구성이 높은 'SiC(실리콘카바이드)'를 채택한 바 있다. 이를 활용하면 포커스 링의 수명이 길어져 공정의 효율성과 안정성을 높일 수 있다.
한편, 비씨엔씨의 'CD9'은 옥사이드 에칭에 주로 사용되는 소재인 실리콘(Si)·실리콘카바이드(SiC)보다 내마모성이 뛰어난 보론카바이드를 기반한 신소재다.
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