EUV MOR는 기존에 사용되는 유기 타입 EUV 포토레지스트를 대체할 무기 타입 포토레지스트로 차세대 공정용 소재이다. 신너는 포토레지스트 스핀코팅 후 실리콘 웨이퍼 가장자리에 불필요한 이물질을 제거하는데 사용되는 소재다. 디벨로퍼는 일종의 현상액으로 일정 부위 포토레지스트(PR. Photo Resist)를 제거해 패턴을 형성하는데 사용된다.
와이씨켐은...
아울러 그는 “최근 본격화되고 있는 삼성전자 감산이 동사 2분기 실적에 영향을 줄 것이며 4월부터 유의미한 수준으로 감산량이 증가하고 있다”면서 “시장에서 기대 중인 동사의 차세대 제품 EUV 포토 레지스트 양산 사용 본격화에는 다소 시간이 필요할 것으로 예상되며 EUV 레지스트는 Stochastics 결함과 LER 증가와 같은 문제로 인해 고감도 확보가...
일본의 수출규제 3대 품목인 불화수소, EUV레지스트, 불화폴리이미드 의존도가 급감했다. 불화수소 대일 수입액은 2019년 3630만 달러에서 2021년 1250만 달러로 66% 감소했다. EUV레지스트는 벨기에산 수입 다변화 등으로 대일 의존도가 50% 이하로 내려왔고 불화폴리이미드는 대체소재 채택으로 대일 수입수요가 사실상 제로가 됐다. 우리나라를 향한 일본의 무역 규제는...
EUV 레지스트의 경우 벨기에산 수입 확대로 대일 의존도가 절반 이하로 줄었다.
정부는 올해 반도체 소재 국산화와 공급 안정화를 공고히 하기 위해 3대 핵심품목과 차세대 기술 개발을 위한 연구개발(R&D)에 2조2000억 원을 투자한다. 또 유망 상용소재의 신소재 개발 비용 및 시간 단축을 위한 데이터 활용 플랫폼을 구축하고, 공급망 효율화를 위한 뿌리기업 공동...
문 대통령은 "수출규제 3대 품목의 공급망이 안정적으로 구축됐다"며 "50%에 육박하던 불화수소의 일본 의존도를 10%대로 낮췄고, 불화 폴리이미드는 자체 기술 확보에 이어 수출까지 이뤘으며, EUV 레지스트 또한 글로벌 기업의 투자를 유치해 국내 양산을 앞두고 있다"고 설명했다.
나아가 "국내 산업에서 높은 비중을 차지하는 100대...
홍남기 경제부총리 겸 기획재정부 장관은 25일 "초기 우려됐던 불산, EUV 레지스트, 불화 폴리이미드 3대 핵심품목의 공급 안정화가 뚜렷하게 개선돼 어떠한 생산 차질도 빚어지지 않았다"고 밝혔다.
홍남기 부총리는 이날 정부서울청사에서 제7차 소재·부품·장비 경쟁력강화위원회를 주재하며 "2019년 7월 일본 수출규제 조치를 계기로 소부장...
첨단 포토레지스트(PR)의 생산 자동화 시설을 신축 중인 동진쎄미켐은 포토레지스트를 비롯해 BARC, SOC, CMP 슬러리 등 반도체용 주요 소재를 전시한다.
장비, 부품 국산화를 통해 한국 반도체산업 생태계에 기여해 온 글로벌 반도체 장비기업 램리서치는 건식 레지스트 기술과 혁신적인 플라즈마 식각 공정 장비인 센스아이 플랫폼을 공개한다....
JSR는 벨기에 합작사와 생산하는 EUV 레지스트를 한국에 수출하고 있다.
일본종합연구소의 무코야마 히데히코 수석 연구원은 “한국 ‘탈일본’의 영향은 2년 정도 계속 될 것”이라며 “일본에 R&D를 남겨두고 한국으로 생산을 이전하는 움직임은 가속화할 것”이라고 전망했다.
산업통상자원부는 이날 오후 일본 수출규제와 관련한 정부의 입장을 발표할 예정이다. 앞서 산업부는 지난달 12일 일본에 반도체·디스플레이 3개 핵심소재(EUV레지스트, 불화 폴리이미드, 불화수소)에 대한 수출 규제와 화이트 리스트(수출심사 우대국)에서 한국을 제외한 것에 대한 일측의 구체적인 해결 방안을 5월 말까지 밝혀달라고 요구한 바 있다.
우선 정부는 지난해 7월 일본의 수출규제 조치에 대응 체계를 가동하고, 8월 5일 소재부품장비 경쟁력 강화대책을 추진한 결과 불산액, EUV레지스트, 불화폴리이미드 등 수출규제 3대 품목을 중심으로 공급 안정화에 뚜렷하게 큰 진전이 있었다고 강조했다.
성 장관은 “일본의 수출규제에 대응해 미국, 중국, 유럽산 제품을 대체 투입하고, 미국의 듀폰사...
특히 최근 시작한 7나노 EUV 공정의 제품 출하 소식과 올 초 업계 최초로 개발에 성공한 5나노 EUV 공정, 내년 본격적으로 가동할 화성 EUV 전용 생산라인 등을 소개할 계획인 것으로 알려졌다.
또 5G 이동통신과 인터넷 데이터센터, 인공지능(AI), 자동차 전장 등 주요 응용처별 솔루션도 다뤄질 예정이다.
지난달 일본 정부는 플루오린 폴리이미드, 레지스트(PR)...
특히 EUV 포토 레지스트는 삼성전자의 차세대 성장동력인 파운드리 사업에 꼭 필요한 소재였다는 점에서 숨통이 트였다는 분위기다.
그러나 산업계 일각에선 일본의 이번 수출 허가에 대해 낙관할 수만은 없다는 목소리도 높다. 일본은 언제든 개별허가가 필요한 품목을 추가로 지정할 수 있는 데다, 앞으로 수출 심사에서 퇴짜를 놓을 수 있는 상황인 탓이다.
업계...
반도체 관련 품목은 이미 수출규제에 들어간 플루오린 폴리이미드, 레지스트(PR), 에칭가스(고순도불화수소) 등 3개 소재를 포함해 IC, 노광장비, CVD, 이온주입기, 웨이퍼, 블랭크 마스크 등이 영향을 받을 것으로 보인다.
이 가운데 IC, 노광장비, CVD, 이온주입기 등은 지정되더라도 국내 반도체 업종에 큰 영향이 없다.
IC는 일본 업체의 존재감이 미미하다. CPU, AP, BB...
플루오린 폴리이미드, 포토 레지스트, 고순도(EUV) 불화수소(에칭가스)는 각각 유기발광다이오드(OLED) 디스플레이 공정에 사용되는 소재, 반도체 제조공정에서 사용하는 감광재 및 물질로 일본이 압도적인 기술우위를 지닌 품목이다. 이들 3개 소재(물질)가 반도체 가격에서 차지하는 비중은 100분의 1 정도밖에 되지 않지만 고품질로 이들을 확보하지 못하는 경우...
이 소장은 “일본이 이번에 규제한 포토 레지스트는 EUV(극자외선)용”이라며 “삼성전자와 미세공정 경쟁을 벌이고 있는 대만의 TSMC가 반사이익을 얻는다”고 분석했다. EUV는 파장이 ArF(불화아르곤) 14분의 1 수준인 13.5나노에 불과해 미세공정 과정에서 반드시 필요하다.
미국의 견제로 타격받은 중국의 반도체 굴기 전략이 반등할 수 있다는 일각의 해석에 대해서 이...
일본의 EUV용 포토 레지스트를 대체할 수 있는 소재를 구하지 못하면 SK하이닉스의 경우 EUV 공정 R&D 단계부터 차질이 빚어질 수 있다.
SK하이닉스는 아직 EUV 공정을 개발하는 단계로 본격적인 양산에 들어간 것은 아니다. 회사는 EUV 공정이 업계에 본격적으로 적용되는 기간이 1~2년 남은 것으로 보고 R&D를 진행하고 있다.
업계 관계자는 “장기적으로...
NH투자증권에 따르면 일본의 추가 규제 방식으로 △기존 3개(레지스트, 에칭가스, 플루오린폴리이미드) 이외에 추가 품목을 지정하는 것 △한국을 완전히 ‘화이트국가’에서 제외하겠다고 압박하는 것 등이 있다.
도현우 NH투자증권 연구원은 “일본이 추가 수출 규제를 할 경우 예상 가능한 반도체 관련 품목은 IC, 노광장비, CVD, 이온주입기, 웨이퍼, 블랭크 마스크...
연구소에 따르면 EUV용 포토 레지스트는 일본 기업들이 독과점 구조를 형성하고 있고 국내 기업들은 생산할 수 없기 때문에 삼성전자의 경우 수급 문제를 겪을 수 있다.
포토 레지스트 생산 기업 중 삼성전자에 공급하는 것으로 추정되는 일본의 JSR는 벨기에에 생산라인이 있어 이번 규제를 피해갈 수 있다는 시각도 있다. 일본에서 동분서주하고 있는 이재용 삼성전자...
삼성전자는 하반기부터 EUV(극자외선) 파운드리 라인의 양산을 시작할 예정인데, 해당 공정에 사용되는 소재인 EUV용 포토레지스트를 일본으로부터 전량 수입해야 한다.
일반 반도체 공정에서는 일본산 포토레지스트를 대체해 이와 성능이 비슷한 국내나 다른 국가 제품으로 대체할 수가 있다.
그러나 EUV 라인은 미세 공정을 위해 고품질 레지스트가 반드시...