램테크놀러지가 ‘TGV(반도체용 유리기판) 인터포저 제조 핵심기술 Glass Hole 식각 기술개발 관련 특허’를 출원했다고 2일 밝혔다.
램테크놀러지는 이번 기술개발 관련 특허 출원을 완료함에 따라 레이저 홀(Laser Hole) 가공업체와 연계 사업추진에 속도를 낼 예정이며, 협업을 통해 조기 상용화 및 양산을 계획하고 있다고 전했다.
램테크놀러지 연구개발...
TGV 식각 공정은 유리기판 양산 핵심 공정 중 하나다. TGV는 전기적 신호를 전달하기 위한 일종의 홀이다. 이후, 구리를 충진해 전기적 신호를 전달하는데 쓰인다. TGV는 고대역폭메모리(HBM) 등 반도체에 쓰이는 실리콘관통전극(TSV)과 유사한 개념이다.
램테크놀러지의 TGV 식각액 양산은 2026년 가능할 것으로 예상된다. 현재 TGV 식각액을 공동 개발 중인...
아이씨디는 액정디스플레이(LCD) 및 OLED 의 구동회로(TFT) 및 터치 센서 제조의 핵심 공정 중 하나인 박막식각 공정 중 플라즈마를 이용한 고밀도플라즈마(HDP) 드라이에처(Dry Etcher) 장비와 OLED 증착공정 중 진공상태에서 유리 기판을 이송하는 진공물류장비(증착기)를 제조·판매 중이다. 또 플라즈마 기술을 활용한 플라즈마 박리 장비(Plasma Asher) 및...
위지트는 반도체 및 디스플레이 제조의 핵심공정인 △증착(CVD, 실리콘/유리기판에 박막을 형성) △노광(PHOTO, 기판표면에 회로패턴 형성) △식각(ETCH, 패턴 외 불필요한 부분을 제거)에 적용되는 장비의 소모성 부품(Parts)을 생산하고 있다.
최근에는 차세대 반도체 기판으로 주목 받고 있는 ‘유리기판’ 소부장 시장 진출을 밝힌 바 있다. ‘유리기판’ 제조...
켐트로닉스가 개발한 PGMEA는 극한에 가까운 EUV PR 결함을 제어하는 데 유리한 PGMEA로, 99.999%(5N)의 초고순도를 구현해 업계의 주목을 받고 있다.
향후 신규 식각 매출 증가와 화학 사업 저수익 소재를 정리하고, 반도체 웨이퍼 PR이나 세정에 들어가는 소재로 관련 매출 증대를 기대하고 있다.
켐트로닉스는 디스플레이 후공정 용역 관련 실적이 개선되며, 1분기...
2분기 Dry Bulk 대폭 개선 전망
양지환 대신증권 연구원
◇아바텍
글라스 식각 전통 강자의 매력 발산 시작
실적으로 입증한 IT OLED 확대의 숨은 수혜주
글라스 식각의 전통 강자, 고객사와 유리 관련 협업 강화 기대
양승수 메리츠증권 연구원
◇뷰노
주요 비용 집행으로 상저하고, 큰 그림 유지 중
그미국 진출 위한 비용 집행으로 실적 기대치...
위지트는 반도체 및 디스플레이 제조의 핵심공정인 △증착(CVD, 실리콘ㆍ유리기판에 박막을 형성) △노광(PHOTO, 기판표면에 회로패턴 형성) △식각(ETCH, 패턴 외 불필요한 부분을 제거)에 적용되는 장비의 소모성 부품(Parts)을 생산하고 있다.
위지트 관계자는 “반도체 유리기판 제조용 장비부품은 기존 디스플레이 장비에 적용되고 있는 제조공정과 유사한 환경을...
위지트는 반도체 및 디스플레이 제조의 핵심공정인 △증착(CVD, 실리콘ㆍ유리기판에 박막을 형성) △노광(PHOTO, 기판표면에 회로패턴 형성) △식각(ETCH, 패턴 외 불필요한 부분을 제거)에 적용되는 장비의 소모성 부품(Parts)을 생산하고 있다.
해당 공정들은 고온이나 다양한 화학가스가 적용되는 환경으로 이에 사용되는 부품(Parts)은 고도의 내구성이 필요하며...
2% YoY): 시장 컨센서스 상회
원전 설계 중심의 매출액 증가가 이어지면서 고정비 레버리지 효과 확대
다시금 탄력받고 있는 신규 원전 수주 기대, 그러나 아직 남은 과제
정혜정 KB증권 연구원
◇켐트로닉스
IT OLED, 유리 식각 공정이 부활한다
투자 포인트 1) IT OLED의 등장과 그에 따른 최대 수혜 기대
2) EUV용 PR의 중간재, PGMEA 국산화 가능성 대두...
웨이퍼에서 회로 패턴을 제외한 나머지 부분을 깎는 식각, 화학반응을 일으켜 웨이퍼 표면에 박막을 증착하는 화학기상증착(CVD) 등의 반도체 전공정에 적용되고 있다.
RFHIC의 마이크로웨이브 제너레이터는 플라즈마 생성 방식이 기존 방식과 다르다고 한다. 일반적인 마이크로웨이브 제너레이터는 고주파를 발생시키는 진공관의 일종인 마그네트론을...
고순도 염화수소는 웨이퍼에 그려진 반도체 회로만 남기고 불필요한 부분을 부식시켜 깎아내는 식각(蝕刻)액으로 쓰인다. 그동안 일본 등 해외 업체로부터 수입에 의존해 왔다.
삼성전자 관계자는 “단일 국가 의존도를 낮추고 공급처를 다변화했다는데 의미가 있다”고 말했다. 삼성전자는 또 지난해 4월 원익IPS, 테스, 유진테크, PSK 등 국내 주요 설비협력사, 2...
고순도 염화수소는 웨이퍼에 그려진 반도체 회로만 남기고 불필요한 부분을 부식시켜 깎아내는 식각(蝕刻)액으로 쓰인다. 이 제품은 일본 등 해외 업체로부터 수입에 의존해 왔는데, 이를 다변화한 것이다.
삼성전자 관계자는 “단일 국가 의존도를 낮추고 공급처를 다변화했다는 데 의미가 있다”라고 말했다.
삼성전자는 2010년대 초반부터 주요 설비, 부품...
이에 연구진은 반도체 공정에 활용되는‘건식 식각법’을 활용했다. 이 공정은 일반적인 이방성 식각 공정과 달리 등방성 건식 식각법을 이용해 고체 전해질 측면이나 하단 부분까지 이온 저항층을 빠르게 제거할 수 있다. 연구진은 이온 저항층이 제거된 계면을 가지는 고체 전해질 입자를 기반으로 하이브리드 전해질을 제조해 이온전도도가 기존 전해질보다 2배...
반도체 부문은 삼성전자의 잇단 파운더리 수주 계약과 설비 확장과 글로벌 반도체 시장이 유리하게 작용할 것이란 전망과 연결된다.
김양재 KTB투자증권 연구원은 중국 1위 파운드리(반도체 위탁생산) 업체 SMIC가 미국의 제재를 받게 된 점에 주목했다.
김 연구원은 "최근 파운더리 세계적인 생산 설비 부족 상황에서 삼성전자와 DB하이텍이 SMIC 증설 차질로...
인베니아의 주력장비인 건식식각장비는 박막트랜지스터(TFT) 기판 위에 불필요한 부분을 플라즈마를 이용해 깎아 내는 장비로 LCD 공정 뿐만 아니라 OLED 공정에서도 적용이 가능하다.
인베니아는 지난해 9월 HKC에 약 1043억 원의 장비를 수주 받은 바 있으며 이번이 세 번째이다.
현재 중국에서는 BOE를 비롯해 CSOT, 비전옥스, 티안마, HKC 등...
식각은 액정 디스플레이 소재인 유리를 원하는 두께에 이르기까지 정확히 깎는 기술이다. 국내 업체는 오랜 연구와 투자를 거쳐 유리 두께가 설정된 목표에 도달하면 자동으로 식각을 종료하도록 해 기존 방식의 단점인 인건비 증가, 과식각으로 인한 재료 폐기 등을 보완했다.
검찰 조사에 따르면 2013년 5월부터 2016년 4월까지 국내업체에 근무하던 A씨는 C씨와...
회사측에 따르면 대표적인 품목인 석영유리제품은 반도체 제조공정 중 산화, 식각, 이온주입, 화학증착공정에서 불순물로 부터 보호하거나 이송하는 용기로 사용된다. 조명기기는 가전기기, 자동차, 건축 등 모든 산업과 연관돼 있으며, 발광다이오드(LED)는 형광등 및 백열전구와 비교해 단위 밝기당 소모전기량이 낮고 친환경적이어 향후 시장 규모는 더욱...
고순도 유리인 쿼츠는 열에 강하고 빛 투과성이 좋아 웨이퍼를 산화시키는 확산 공정과 반도체 내 회로 패턴 이외 부분을 제거하는 식각 공정에 쓰이고 있다.
SKC솔믹스 관계자는 “이번 MOU로 원료를 안정적으로 확보하게 된 SKC솔믹스는 정밀 가공기술력을 바탕으로 원재료부터 제품 생산 및 판매까지 이어지는 수직계열화 기반을 마련했다”고 설명했다....
향후 시장 확장을 위해 중국 및 일본에 현지법인이나 사무소를 설립하는 데도 일부 자금을 사용한다.
현재 집중하고 있는 박막 증착 장비에 대한 리퍼비시를 식각 장비로도 확대한다. 김 부사장은 “현재 보유한 박막 증착 장비 기술력은 식각 장비에 필요한 기술력과 유사성이 높다 유리하다”고 설명했다.
LG디스플레이가 물량을 요청하면 지디는 디스플레이 패널의 두께를 얇게 가공하는 LCD 유리 식각(Slimming) 제품을 유아이디에 공급한다. 유아이디는 LCD 유리 ITO 코팅 제품을 LG디스플레이에 공급, LG디스플레이가 LCD 제품을 애플에 공급하는 형태다.
양사의 삼성디스플레이 공급 중단은 삼성디스플레이의 중소형 LCD 패널 생산 중단에 따른 결과다. 업계에 따르면...
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