특히 파크시스템스는 극자외선(EUV) 수혜를 볼 것으로 예측했다.
도 연구원은 “EUV는 소스의 파장이 짧아 포톤 숏 노이즈(Photon Shot Noise), 라이트 블러(Light Blur) 등으로 인해 스토캐스틱(Stochastics) 결함과 LER(Line Etdge Roughness) 증가 등과 같은 문제가 생긴다”며 “이러한 문제는 기존 SEM, TEM보다 AFM으로 관측이 유리하다”고 말했다.
이어...
2023-06-12 08:38